不同内腔体积元器件密封性检测压力选择

摘要：

　　文章介绍了GJB548不同版本中利用固定方法对器件进行密封性检测时的压力选用原则。利用3维微焦点断层扫描方法对器件内腔体积进行精确测量，分别根据两版标准对器件施加不同压力，利用氦质谱检漏方法对两种压力条件下的器件进行检测。通过对两种压力下检测结果进行比较，说明不同内腔体积元器件的压力选用原则。

关键词： 电子元器件 密封性检测 氦质谱检漏方法 压力选择

作者: 李慧娟 张祥春 卢晓青 路浩天

作者单位: 中国航空综合技术研究所 北京 100028

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 17-21

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）