国内外氦质谱检漏仪现状

摘要：

　　随着科学技术的发展，世界各国的生产商在原有产品的完善和改进下，相继推出了各种高质量，先进水平的新型氦质谱检漏仪，并广泛应用于航空航天，电力电子，半导体，汽车，制冷和医药等各个行业。氦质谱检漏仪也在向着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等先进方向发展。本文对现有氦质谱检漏仪的生产厂家和产品性能进行整理，供检漏科技和工程人员参考。

关键词： 氦质谱检漏仪 真空检测 性能指标 技术完善

作者: 王军伟 方嬿 李强

作者单位: 北京卫星环境工程研究所 北京 100094

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 39-45

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）