氦质谱检漏技术在批量生产行业中的应用

摘要：

　　氦质谱检漏仪通常用于对密封件密封性能的检测，以判断产品性能或者系统性能是否符合要求，随着各应用行业的自身产品数量的快速发展，检测工艺迫切需要加强高效率检测平台的革新步伐。文中所介绍的是航天领域开发的某民用产品在批量生产背景下研制开发的高效氦质谱检漏平台，通过在检测环节的应用，该系统能够大大提高工作效率，并为后续同类平台的开发积累了经验。

关键词： 氦质谱检漏仪 批量生产行业 真空系统 性能检测

作者: 全宏彪 郑兴林

作者单位: 北京空间机电研究所 北京 100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 59-62

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）