氦质谱检漏用可控喷枪的设想

摘要：

　　为提高检漏效率和准确度，克服普通He喷枪的不确定性，本文提出了可控喷枪的一些设计思想和应用方法，主要通过控制气源的压力，喷气时间，喷出气体的流向等，制成持续喷枪和断续喷枪，实现接近理想喷枪的状态。

关键词： 氦质谱检漏仪 可控喷枪 设计理念 真空检测

作者: 荣维刚 俞恭谦

作者单位: 北京哲勤科技有限公司 100176

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 63-66

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）