具有温度补偿和多对象同步检测功能的气密测试仪研制

摘要：

　　当今泄漏检测技术在各行各业的应用越来越广泛。本文研制了一种新型气密性测试仪，它由1个主机端和4个采集端组成，主机端是基于ARM9核心微处理器的运算平台，采集端是基于AVR单片的泄漏检测和数据采集前端，主机端和各个采集端通过现场总线进行信息交互。这种气密测试仪支持对多个被测体的同步泄漏测试和单个被测体内部互漏检测；采用的温度补偿技术可显著减小测试过程中因温度快速变化导致的检测误差，实现0.1℃误差补偿，检测精度和检测效率将得到明显地提高。文章从硬件和软件两个方面对整个仪器做了系统的介绍。

关键词： 泄漏检测技术 气密测试仪 温度补偿 多对象同步检测 功能设计

作者: 万相奎 陈奕毅 吴青长 龚福岐

作者单位: 广州番禺科腾工业有限公司 广州 51145O 广东工业大学 广州 510006 广东工业大学 广州 510006 广州番禺科腾工业有限公司 广州 51145O

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 88-93

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）