压力真空法检漏的影响因素及改进措施

摘要：

　　文章介绍了压力真空法检漏的基本原理和常用方法，分析了常用压力真空检漏存在的问题。通过公式修正和充气方法的改进，降低由氦气浓度引起的测试漏率的偏差。在标准漏孔和真空容器之间增加真空稳压容器能减少标准漏孔氦气累积对测试漏率的影响。适当使用标称漏率大的标准漏孔、降低检漏系统本底可以减少比对系数的相对测试误差。

关键词： 压力真空检漏 公式修正 充气方法 氦气浓度 漏率测试

作者: 史纪军 孙立志 张海峰 汪力 郭海涛 赵建超

作者单位: 北京卫星环境工程研究所 北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 148-153

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）