会议专题

基于分形理论的密封介质漏孔流导的计算

  本文采用分形几何理论阐述了关于密封介质漏孔结构的物理参量,并在此基础上结合气体分子在微孔中的努森扩散效应,推导了密封界面处漏孔流导的计算公式。漏孔流导是封接界面孔隙率、最大漏孔与最小漏孔直径之比以及孔和迂曲度分形维数等漏孔结构参数的函数,具有明确的物理意义,是描述一个封接面密封性能优劣的重要物理量。初步计算分析表明密封介质漏孔的流导随着孔面积分形维数和孔隙度的增大而增大,这为进一步提高封接质量提供了明确的方向。

分形理论 密封介质 漏孔结构 流导计算 努森扩散效应

徐坚 郑仟 杨斌 郁伯铭

北京航天微机电技术研究所,北京,100094 华中科技大学物理科学与技术学院,武汉,430074

国内会议

中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

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2011-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)