先进的光学检漏技术

摘要：

　　本文采用先进激光全息技术的光学检漏方法有其独特的优势和意义，文章对光学检漏原理、检漏灵敏度范围、使用设备进行了分析。

关键词： 光学检漏 激光全息技术 封装器件 漏率测量 氦质谱变压法

作者: 帅家盛

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 187-198

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）