大容积检漏技术

摘要：

　　本文简述密封容积检漏的现有国内外理念和应用实例。重点阐述作者1992年“自主创新”新型的检漏方法—“负压采样法”的工作特性和通用“正”“负”压检漏的差别。它已应用18年多，实践《上百台件》的大容积系统。它是大容积检漏的最佳方法；它是真空系统在线检漏唯一选择；它是氦盒法“不用封泥”好途径；也是密封器件充氦检漏的好方法。

关键词： 真空系统 密封器件 大容积检漏技术 负压采样法

作者: 曹辉玲

作者单位: 北京真空电子技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 213

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）