ZJ-2型热阴极电离规的灵敏度测试分析

摘要：

　　电离真空计是高真空测量领域的主要真空计，ZJ-2型热阴极电离规管作为较早研发出的规管类型有其独特的稳定性和实用性。本文阐述了ZJ-2型热阴极电离规的原理，介绍了对八只不同厂家生产的、使用年限不同的规管的灵敏度的实验研究结果。

关键词： 电离真空计 热阴极电离规 灵敏度测试 真空测量

作者: 田虎林 王欢 付文帅 李彤 宋瑞海

作者单位: 北京东方计量测试研究所 北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 228-232

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）