便携式真空校准装置的研制

摘要：

　　便携式真空校准装置主要由供气和进样模块、抽气模块、压力衰减模块、压力测量与校准模块、烘烤模块等五部分组成。本文考虑到现场环境对真空计的影响和校准装置易于携带、小型化的要求，设计中采用了模块化分体式结构，复合了静态比较法、动态比较法和压力衰减法等3种真空校准方法。可根据不同的校准需求，选配不同的模块和方法实现对真空计的校准。预计达到的技术指标是，校准范围为10-4Pa～105Pa，合成标准不确定度小于7％。

关键词： 真空校准装置 模块化设计 真空计 技术指标 测量不确定度

作者: 孙雯君 冯焱 成永军 赵澜

作者单位: 兰州空间技术物理研究所 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 233-237

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）