粗低真空校准系统

摘要：

　　本文介绍了粗低真空校准系统的设计、系统组成，采用直接比较法对一支1000Torr电容薄膜真空计进行了校准。

关键词： 粗低真空 校准系统 直接比较法 电容薄膜真空计 不确定度分析

作者: 魏万印 冯焱

作者单位: 兰州空间技术物理研究所 甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 238-241

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）