分子流动态进样比对法正压漏孔校准方法

摘要：

　　文章介绍了定量气体动态比对法，参考漏孔比对法、流量比对法、校准质谱计法等分子流动态进样比对法正压漏孔校准方法。这类方法的核心思想是累积正压漏孔流出的示漏气体，再进行压力衰减，然后通过分子流动态进样方式引入校准室，利用四极质谱计的线性关系比对离子流信号，从而计算被校正压漏孔漏率。文中给出了理论计算公式和不确定度预估，还对这几种方法的实现难易程度、优缺点等进行了评价。

关键词： 分子流动态进样比对法 正压漏孔校准 检漏技术 测量不确定度

作者: 刘赐贤 赵澜 孙雯君 刘珈彤

作者单位: 兰州空间物理研究所 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 248-256

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）