固定流导法气体微流量计测量下限延伸方法研究

摘要：

　　影响固定流导法气体微流量计测量下限的主要因素是真空管道及稳压室内表面放气，本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气效应影响来延伸测量下限的方法。NEGP对惰性气体无抽速，对活性气体抽速大，当以惰性气体作为实验气体时，NEGP可维持流量计真空管道及稳压室中的高真空本底，进而消除器壁放气效应的影响。这种方法将固定流导法气体微流量计的测量下限延伸到了10-12Pa·m3/s量级。

关键词： 固定流导法 气体微流量计 测量下限 非蒸散型吸气剂泵 测量不确定度

作者: 成永军 李得天 冯焱 赵澜 习振华

作者单位: 兰州物理研究所 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 257-262

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）