固定流导法真空漏孔校准装置性能研究

摘要：

　　固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较，从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成，在分子流条件下，小孔流导为一常数。运用此方法，建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作。为了保证校准数据的准确可靠性，需对该套装置的不确定度进行分析与评定。

关键词： 固定流导法 真空标准漏孔 漏率测定 校准装置 不确定度分析

作者: 刘波 丁立莉

作者单位: 西安航天计量测试研究所 陕西西安 710100

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 263-270

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）