恒压法正压漏孔校准技术研究

摘要：

　　为了提高正压漏孔校准的测量下限和测量精度，本文推导出了恒压法漏率测量的数学模型，提出了2种恒压法正压漏孔校准装置及校准方法。该校准装置通过优化设计，减小定容室的容积，采用直径为0.8mm的精密细活塞，与变容室进行动密封连接。对校准系统静态本底漏率和动密封结构带来的动态本底漏率，进行了分析和实验测量，采用三种校准方法分别对一组漏率在(10-3～10 8)Pa·m3/s量级的金属压扁型正压标准漏孔进行校准，并进行了不确定度分析，对德国PTB校准过的一支正压标准漏孔进行了校准比对。

关键词： 恒压法 正压标准漏孔 校准装置 优化设计 测量不确定度

作者: 冯焱 盛学民 成永军

作者单位: 兰州物理研究所 甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 271-283

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）