全金属气体微流量计波纹管变容室截面面积的测量

摘要：

　　为了研制全金属气体微流量计，本文设计了以波纹管为主体的全金属结构的变容室，并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用了多项式拟合公式对波纹管截面面积进行了修正，避免波纹管非线性的影响，结果表明修正偏差小于0.16％，截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53％，可以满足使用要求。

关键词： 全金属气体 微流量计 波纹管变容室 截面面积 测量不确定度

作者: 赵澜 张涤新 冯焱 成永军 孙雯君 刘赐贤

作者单位: 兰州空间技术物理研究所 甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 284-292

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）