微漏率真空标准漏孔

摘要：

　　本文主要介绍了具有固定氦室的渗氦型微漏率真空标准漏孔。并对其工作原理、核心参数、漏率值及测量不确定度进行了阐述。

关键词： 真空标准漏孔 氦质谱检漏仪 微漏率 量值溯源 测量不确定度

作者: 周起春

作者单位: 原中国计量科学研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 293-295

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）