微压气体活塞式压力计的性能研究

摘要：

　　Furness Controls公司生产FRS5型微压气体活塞式压力计是低真空范围精度非常高又可以很方便操作的真空校准系统。本文对FRS5微压活塞的工作原理、特性以及所做的一些实验工作进行了详细的介绍。

关键词： 微压气体活塞式压力计 真空校准系统 性能评价 测量不确定度

作者: 于红燕 王金库 杨远超 悦进

作者单位: 中国计量科学研究院北京北三环东路18号 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 296-302

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）