真空规校准结果的处理

摘要：

　　本文介绍了一种新的真空规校准结果处理的方法。大多数情况下真空规采用给出平均修正因子的方法进行修正，但对于线性较差的真空规采用此方法会有较大的误差，采用线性拟合的方法进行纠正就能很好的减小修正后的误差。本文以具体实例单独采用这两种方法及相互结合的方法对校准结果行修正。并给出了对比结果。

关键词： 真空规 线性拟合 修正因子 校准模型 误差分析

作者: 王欢 田虎林 李彤 付文帅 宋瑞海

作者单位: 北京东方计量测试研究所 北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 311-316

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）