Pirani真空变送器校准及测量不确定度分析

摘要：

　　本文对Pirani真空变送器的测量和校准进行了研究。对Pirani真空变送器输出信号和真空度之间的函数关系进行了分析，得出了Pirani真空变送器输出信号示值误差与真空度示值相对误差之间的关系。建立了Pirani真空变送器的校准装置，并对某类型的Pirani真空变送器进行了测量，测量结果扩展不确定度U=0.046V(k=2)，对应于真空度示值相对误差δ不大于±10％。

关键词： 真空变送器 校准装置 电真空度 测量不确定度 误差分析

作者: 张书令 许红 唐景远

作者单位: 上海市计量测试技术研究院上海市浦东新区张衡路1500号 201203)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 321-326

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）