电离规的新进展
电离规是测量高真空的主要真空规管,而在超高/极高真空测量领域,它是唯一实际可用的真空规。传统上将电离规划分为2种类型,即热阴极电离规和冷阴极电离规。在热阴极电离规中,电离电子源是一个发射阴极;在冷阴极电离规中,电离电子源是交叉电磁场中循环的空间电子电荷。近年来随着新型场致发射阴极在热阴极电离规中的应用,传统的划分方法不再清晰。国外的真空科学家对电离规进行了新的划分,即发射阴极电离规和交义场电离规。本文介绍了热阴极电离规和冷阴极电离规的研究现状、新型场致发射阴极在电离规中的应用、小型化电离规的发展。
电离规 真空测量 场致发射阴极 发射机理
李得天 成永军 冯焱 蔡敏
兰州物理研究所 兰州 730000
国内会议
中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
成都
中文
327-337
2011-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)