会议专题

静态升压冷冻测量法在真空检测上的应用

  静态升压冷冻测量法是一种特殊的真空系统检测方法。本文从它测量的气源和气体成分方面进行了分析,并推导出合格标准的制定公式。研究表明,静态升压冷冻测量法相比常规的静态升压法,可更快,更准确的区分渗漏和放气,它适用于系统的整体渗漏(不含水蒸气)检测。

静态升压冷冻测量法 真空系统 渗漏检测 气体成分分析

赫梓宇

核工业理化工程研究院天津市河东区津塘路168号 300180

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中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会

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2011-09-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)