阴极蒸发特性的实验研究
热阴极是电真空器件的心脏，广泛的应用在微波管、行波管等器件中。研究热阴极中活性物质的蒸发特性对于了解热阴极的性能、评价阴极寿命及改进其制作工艺都有着重大的意义。因此研究阴极的蒸发特性很有必要性。本论文先分析了几种常用的阴极测试方法，而后采用了四极质谱计分别测试了氧化物阴极的热蒸发特性，得出在阳极电压不变的情况下，氧化物阴极的活性物质的蒸发速率都随着阴极工作温度的升高而升高。在阴极L=作温度不变的情况下，氧化物阴极的活性物质的蒸发速率随着阳极电压增加而升高。实验表明四极质谱计在测量热阴极蒸发的快速准确的作用。
氧化物阴极 热蒸发特性 电真空器件 质谱分析 四极质谱计
张付存 肖梅 张晓兵 雷威
东南大学电子科学与工程学院显示技术研究中心 江苏南京 210096
国内会议
中国真空学会质谱分析和检漏专委会第十六届年会暨中国计量测试学会真空计量专委会第十一届年会
成都
中文
374-378
2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）