抛物面光学元件校准装置

摘要：

　　本文以数字式激光干涉仪为基础，采用了移相干涉测量技术，根据抛物面光学元件的几何特性，即非球面元件的无像差共轭点特性，研制必要的辅助光学元件及可以量传的标准器，构成完整的抛物面光学元件校准装置，介绍了抛物面光学元件面形校准装置及测量方法，并对测量结果进行了不确定度评定。

关键词： 抛物面光学元件 激光干涉仪 移相干涉测量技术 几何特性 校准装置 不确定度评定

作者: 王生云 杨红 郑雪 张玫 姜昌录

作者单位: 国防科技工业光学一级计量站，陕西 西安 710065

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 296-299

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）