三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的实验研究
透镜曲率半径的精确测量是光学领域的重要主题。三维轮廓扫描方法可通过连续扫描透镜表面三维空间形貌拟合得到其曲率半径值，具有测量精度高、可任意选定测量区域、测量力微弱、对光学表面的损伤可忽略等优点。本文通过实验，对三维轮廓扫描法测量透镜曲率半径的重复性进行了研究，并分析了测量区域大小、扫描间距等因素对测量精度的影响，并根据实验结果拟合得出经验公式，对于实际应用中实现高效率和高精度曲率半径测量具有指导意义。实践结果表明，该方法测量凸、凹球面透镜的曲率半径的相对重复性标准差可达10-6水平。
三维轮廓扫描法 球面透镜 曲率半径 测量精度 重复性标准差
定翔 李飞 洪宝玉
中国计量科学研究院电离辐射与医学工程所工程光学室，北京 100013
国内会议
西安
中文
383-386
2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）