基于LabVIEW晶体生长检测系统的圆弧拟合技术

摘要：

　　在基于LabVIEW晶体生长检测系统中，基于最小二乘法曲线拟合原理和单晶硅生长特性，运用图形化编程语言时采集的单晶硅生长信息图进行图像处理，对部分”释热光环”进行圆弧拟合。由拟合出的圆进行晶体生长直径检测。实验表明，该设计能够很好地完成圆弧拟合，实现时单晶硅的生长直径检测，符合系统检测要求。

关键词： 半导体材料 单晶硅片 制作工艺 圆弧拟合技术

作者: 白雨 程光伟

作者单位: 西安工业大学电子信息工程学院,陕西西安 710032

会议类型: 国内会议

会议名称: 陕西省电子学会“信息感知与三网融合”前沿技术学术研讨会

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 91-93

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）