关键词： 多孔硅 热氧化 硅纳米颗粒 尺寸分离效应
作者: 李新建 贾瑜
作者单位: 郑州大学物理工程学院和材料物理实验室(郑州)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 62-62
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）