关键词： 多晶碳化硅 氧化技术
作者: 李跃进 贾护军
作者单位: 电子科技大学微电子研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 39～41
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）