关键词： 多晶硅膜 电镜
作者: 闵靖 李积和
作者单位: 市计量测试技术研究院,上海微电子分析测试重点实验室 硅材料厂
会议类型: 国内会议
会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议
会议地点: 成都
会议语种:中文
页码: 229～231
在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）