多晶硅薄膜和多晶硅发射极光电晶体管

摘要：

该文研究了用UTT－40型超高真空镀膜机蒸发形成的多晶硅薄膜的高子注入掺杂和退火特性，并用多晶硅发射极制作了新型的高灵敏度光电晶体营，当人射光功率为44nw时，光电增益达到了3386。

关键词： 多晶硅薄膜 多晶硅发射极 光电晶体管

作者: 李国辉 姬成周

作者单位: 师范大学低能核物理所 市辐对中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 247～249

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）