Φ120mm多晶硅棒的制备

摘要：

该文阐述生长Φ１２０ｍｍ多晶硅棒的工艺技术，给出了生产试验结果，提出了在已有技术基础上进一步提高炉产量、降低消耗的设想。

关键词： 多晶硅 制备 工艺

作者: 严世权 张祖伟

作者单位: 第二冶炼厂 硅材料厂

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 87～89

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）