铸造多晶硅中氧的性质研究

摘要：

铸造多晶硅是低成本高效率的新型太阳能光电转换材料，其中氧是重要的杂质。该文研究了在原生铸造多晶硅中氧的宏观、微观分布性质、原生热施主的性质和对材料电学性能的影响，并讨论了铸造多晶硅中氧的影响因素。

关键词： 多晶硅 氧 杂质 原生铸造

作者: 杨德仁 马向阳 樊瑞新 阙端麟

作者单位: 料科学国家重点实验室浙江大学(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 78～81

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）