多晶硅表面发黑原因及消除

摘要：

低消耗、高质量生产多晶硅是硅材料厂家所追求的目的。该文对多晶硅生产过程中出现的黑棒现象，从理论和实践两方面进行了分析，并提出了消除办法。

关键词： 多晶硅 发黑 原因 消除

作者: 蒲晓东

作者单位: 半导体材料研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 130～132

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）