桥式RF-MEMS开关材料对开关特性影响研究

摘要：

为了获得高性能RF-MEMS开关，该文对桥式RF-MEMS开关进行深入的静电与力学分析，得到了相关模型与公式，在此基础上讨论了器件几何结构参数、材料的力学和电学特性对开关参数的影响，指出通过改变间距、梁膜厚度，选用高介电常数材料可进一步提高开关性能。

关键词： RF-MEMS 开关 通讯

作者: 雷啸锋 刘泽文 李志坚 刘理天

作者单位: 清华大学微电子学研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 243～246

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）