双光子用小分子正性光刻胶的合成与评价
飞秒激光双光子微纳加工是一种新的纳米加工技术，具有高精度、良好的空间分辨率和真三维加工能力的特点。近年来发展起来的小分子光刻胶相比传统的高分子光刻胶，具有分子尺寸小，加工分辨率高，线边缘粗糙度小等优点。本文设计并合成了杯”4”芳烃衍生物作为正性光刻胶主体成份，与三苯基硫鎓盐复配组成小分子光刻胶，并应用于飞秒脉冲激光双光子加工中，得到了350nm左右线宽的二维图形。
感光材料 正性光刻胶 分子玻璃 芳烃衍生物
李浩 金峰 陈卫强 赵震声 段宣明
中国科学院 理化技术研究所，北京 100190 中国科学院 研究生院，北京 100049 中国科学院 理化技术研究所，北京 100190
国内会议
北京
中文
60-61
2011-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）