一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂
分子玻璃光致抗蚀剂材料因其具有单分散性、无定形性、可获得高分辨率图形及低线边缘粗糙度等优点，已受到了较大的关注。本文设计并合成了一种新颖的正型化学增幅型i-线分子玻璃抗蚀剂材料，这种分子玻璃化合物易溶于常用的有机溶剂，同时具有良好的成膜性，其组成的i-线光致抗蚀剂的曝光成像试验获得了较高的感度和分辨率。
感光材料 化学增感 光致抗蚀剂 分子玻璃
余金星 王力元
北京师范大学 化学学院，北京 100875
国内会议
北京
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109-110
2011-11-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）