超纯氨气中分析ppb级的水分方法的研究

摘要：

　　现状及技术水平概况在电子产品，例如高强度发光二极管的制造中，超纯氨气是一种越来越被广泛使用的化学品。然而，对于LED行业来讲，超纯氨气中的残余水分是一种主要杂质，因为这种杂质可以严重影响产品的性能。而在世界范围内，由于化学品需求量的持续增长，与传统的气瓶供气相比较，人们越来越倾向于大批量供气的模式。在这个前提下，客户更加需要用连续，耐用的分析仪用来高效分析超纯氨气中ppb级的水分。

关键词： 超纯氨气 光谱吸收 残余水分

作者: 张大伟

作者单位: 英国仕富梅集团有限公司 中国区,上海 闵行 元山路 88弄 9号楼 201108

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十五次年会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 98-100

在线出版日期: 2011-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）