高纯氖中杂质含量的测定

摘要：

　　介绍了一种利用热导检测器（TCD）、氧化锆检测器（ZrO2D）、脉冲放电氦离子化检测器（PDHID）分析高纯氖中微量氦、氢、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷的方法。经过方法验证证明，该方法能够达到较高的准确度和精密度。

关键词： 热导检测器 氧化锆检测器 高纯氖 杂质含量

作者: 路家兵 曹尚峰 熊万红 谢欣 谢程

作者单位: 武汉钢铁集团 氧气有限责任公司,武汉 430083

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十五次年会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 114-118

在线出版日期: 2011-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）