二维气相色谱法快速分析高纯锗烷中杂质

摘要：

　　采用二维气相色谱技术与脉冲氦离子化检测器相结合，测定高纯锗烷中杂质，并探讨了不同阀事件时间程序对分析结果的影响。该方法实现了通过一次进样完成锗烷中微量氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、二氧化碳和甲烷杂质分析，结果表明该方法的重复性和准确性好。

关键词： 气相色谱 锗烷 切割反吹 脉冲氦离子化检测器

作者: 林宇巍 陈熔 陈华 应松

作者单位: 国家化学工业气体产品质量监督检验中心,福建 福州 杨桥中路 杨南街 83号 350025

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十五次年会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 146-150

在线出版日期: 2011-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）