用氦离子化(DID)气相色谱仪分析高纯四氟化碳

摘要：

　　介绍了一种利用氦离子化检测器（DID）分析高纯四氟化碳中微量氧气、氮气、二氧化碳和六氟乙烷的方法。利用阀切割技术能够将大量的四氟化碳主成份切割，使其不进入检测器系统。该方法对杂质的检测限能够达到0.01×10-6，经过方法验证证明，该方法能够达到较高的准确度和精密度。

关键词： 氦离子化检测器 四氟化碳 阀切割 气相色谱仪

作者: 邓建平 钱琳 周朋云

作者单位: 核工业理化工程研究院 特气中心,天津 津塘公路 168号 300180 西南化工研究设计院,成都 双流 航空港 445＃,610225

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国特种气体第十五次年会

会议地点: 福州

会议语种:中文

页码: 155-159

在线出版日期: 2011-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）