多功能超高真空高频除气系统的研制

摘要：

　　本文主要是通过介绍一台超高真空高频加热系统的研制过程，探讨了该类系统在设计制造中的难点和相应的解决方案。

关键词： 多功能超高真空 高频除气系统 研制工艺 高频加热系统

作者: 卢少波 张吉峰

作者单位: 北京真空电子技术总公司,北京 100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年度真空电子材料、陶瓷-金属封接与真空开关管用陶瓷管壳技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）