覆Os膜扩散阴极Os-W互扩散的探讨

摘要：

　　介绍了对覆锇扩散阴极锇膜与钨基间互扩散过程的研究结果。通过SEM对不同工作时间的阴极发射表面及纵向剖面的形貌进行分析，采用EDS对实验阴极的表面及纵向剖面进行元素成分的分析。研究表明，随工作时间的不同，阴极表面及纵向剖面Os-W浓度发生变化，呈现明显的扩散趋势。

关键词： 阴极发射 元素成分 互扩散过程

作者: 聂秋玲 程诚

作者单位: 北京真空电子技术研究所,北京 100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年度真空电子材料、陶瓷-金属封接与真空开关管用陶瓷管壳技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）