高纯、细晶Al2O3陶瓷的Mo-Mn金属化机理研究

摘要：

　　通过对高纯、细晶Al2O3陶瓷金属化层、金属化层被酸腐蚀后的陶瓷表面显微结构及金属化层中元素在金属化层与陶瓷中的分布情况分析，探讨了高纯、细晶Al2O3陶瓷的Mo-Mn金属化机理。研究发现高纯、细晶Al2O3陶瓷的金属化机理与95％Al2O3陶瓷存在很大不同，高纯、细晶Al2O3陶瓷金属化时，Al2O3相通过溶解-沉淀传质过程，细小颗粒和固体颗粒表面凸起部分溶解，并在金属化层中的较大Al2O3颗粒表面析出。在Al2O3颗粒生长和形状改变的同时，金属化层形成致密结构，完成了烧结，实现了金属化层与高纯、细晶Al2O3陶瓷的紧密结合。

关键词： 金属化机理 陶瓷表面 显微结构 颗粒生长

作者: 张巨先 石明 尚阿曼

作者单位: 京真空电子技术研究所,北京 100015 功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室,北京 100015 京真空电子技术研究所,北京 100015

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年度真空电子材料、陶瓷-金属封接与真空开关管用陶瓷管壳技术研讨会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）