一种提高Parylene膜沉积质量的方法

摘要：

　　本文介绍了Parylene 膜的沉积聚合过程和设备组成，并提出了一种调节抽真空速率的方法，提高原材料的利用率和膜层质量。

关键词： Parylene膜 沉积质量 节流阀 膜层质量

作者: 敖辽辉

作者单位: 中国电子科技集团公司第十研究所,四川,成都,610036

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国腐蚀大会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 1129-1131

在线出版日期: 2011-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）