金属铀表面磁控溅射CrNx薄膜的制备及腐蚀性能

摘要：

　　金属铀的化学性质十分活泼，极易发生氧化腐蚀。为改善基体的抗腐蚀性能，采用非平衡磁控溅射离子镀技术在金属铀表面制备CrNx 薄膜。采用X 射线衍射和X 射线光电子能谱研究了薄膜表面的物相结构和元素成分分布，采用极化曲线研究了薄膜的抗腐蚀性能。试验结果表明，CrNx 薄膜具有较好的致密性和抗腐蚀性能。当氮分压较小时，生成的薄膜为Cr+CrN+Cr2N 混合相。在金属铀表面制备一层CrNx 薄膜后，其腐蚀电位增大，腐蚀电流密度明显降低，有效改善了贫铀表面的抗腐蚀性能。

关键词： 贫铀 CrNx薄膜 非平衡磁控溅射 腐蚀性能

作者: 朱生发 刘天伟 吴艳萍 黄河 江帆 唐凯 魏强

作者单位: 中国工程物理研究院,四川绵阳 621900 表面物理与化学重点实验室,四川绵阳 621907

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国腐蚀大会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 1261-1265

在线出版日期: 2011-08-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）