组态软件技术在PECVD设备中的应用

摘要：

　　介绍了等离子体增强化学气相淀积PECVD半导体技术与工业自动化系统中组态软件监控技术的特点，提出了一种新型的组态软件监控画面组态方法，并将其应用到PECVD 设备中。试验结果表明，组态监控技术对快速构建PECVD 设备监控系统平台有重要意义，它有效解决了PECVD 监控系统开发难度大、开发周期长以及系统可扩展性差等问题。

关键词： 组态软件 组态监控 等离子体增强 化学气相淀积

作者: 李正 金妮 刘明哲

作者单位: 工业信息学重点实验室，中国科学院沈阳自动化研究所，沈阳，中国，110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011年青年通信国际会议(ICYC2011)

会议地点: 澳门

会议语种:中文

页码: 292-295

在线出版日期: 2011-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）