大范围二维纳米检测系统

摘要：

　　介绍了一种大范围二维纳米检测系统。为了获得二维光学信号，提出了一种耦合差动式干涉的新方法，并据此设计了一套光学8倍频的耦合差动式干涉光路，其结构设计简洁紧凑，光路布局对称性好，光程差倍增，符合阿贝原则和结构变形最小原则；采用大位移超微动连续可控式压电电动机作为纳米驱动装置，并优化设计了控制系统，使电动机运动更为合理、平稳；在干涉信号处理方面，设计制作出了干涉信号处理电路，采用Heydemann模型对误差进行了补偿，计算出实际位移量；最后对整个系统的精度在理论分析的基础上进行估算，干涉仪综合精度的理论值±2.5nm左右；并采用与电容测微仪比对的方法对该系统进行检测，在获取大量测量数据的基础上，利用线性回归的方法对测量结果进行处理。实验结果表明：该干涉测量系统的精度为10-12nm。

关键词： 二维纳米检测系统 激光干涉 耦合差动 压电陶瓷 可控式压电电动机

作者: 邓小林 姚齐 刘海平 叶宁 余江

作者单位: 西藏军区装备修理大队,拉萨,850000 西藏军区装备修理大队雷达修理所,拉萨,850000

会议类型: 国内会议

会议名称: 智能电网与先进电力设备学术交流会暨中国电工技术学会电器智能化系统及应用专业委员会2011年学术年会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 378-383

在线出版日期: 2011-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）