用于电子封装检测的扫描声显微镜

摘要：

　　扫描声显微镜是用于电子封装结构检测的一种主要的强有力工具，但是对很多研究机构而言，商用的声显微镜产品的价格太过昂贵。因此作者采用高速数据采集卡、高频超声聚焦换能器、宽频脉冲收发仪与高精度运动系统，研制了一套实用的扫描声显微系统样机。该系统能进行全时域波形采集，可以在只进行一次扫查过程的情况下，查看电子封装结构内任意深度的C扫描图像。该扫描声显微镜系统的精度和功能能够满足实际的检测需求，而相比商业产品则成本低廉。

关键词： 扫描声显微镜 电子封装 无损检测 全波采集

作者: 徐春广 刘中柱 赵新玉 门伯龙 郭祥辉 杨柳

作者单位: 北京理工大学机械与车辆学院,北京,100081 北京理工大学机械与车辆学院,北京,100081 中北大学机械工程与自动化学院,山西 太原,030051

会议类型: 国内会议

会议名称: 全球华人无损检测高峰论坛

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 658-664

在线出版日期: 2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）