一种稳定的腐蚀液研究

摘要：

　　本文研究了王水、FeCl3、王水(含有缓冲剂)三种腐蚀液对ITO膜的腐蚀速率、腐蚀后的表面形貌、以及对芯片电参数等影响。实验结果发现，王水的腐蚀速率最快：分别为10000，1500A/Min；FeCl3腐蚀液和王水(含有缓冲韵)腐蚀速率适中：分别为8000、70A/Min，比较适合于应用于生产。王水(含有缓冲剂)腐蚀速率可控，稳定。采用王水(含有缓冲剂)腐蚀液对ITO膜腐蚀后的芯片，具有较高的IR良率。

关键词： ITO膜腐蚀液 腐蚀速率 表面形貌 芯片电参数 发光二极管芯片

作者: 闫晓红 武胜利 郑远志 刘伟 刘琦

作者单位: 大连路美芯片科技有限公司,大连经济技术开发区黄海大道1号 116600

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届中国国际半导体照明论坛

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 74-76

在线出版日期: 2011-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）